“真空"是指在給定空間內(nèi)，低于標準大氣壓的氣體狀態(tài)。處于真空狀態(tài)下氣體稀薄程度的量叫真空度。用壓力（剩余壓力）值來表示，以mmHg為單位。利用機械物理方法對容器進行抽氣以獲得真空的機器，叫真空泵。按其工作原理可分為容積式，射流式和其他類型真空泵。

真空泵的主要性能指標：

1.極限真空，真空泵在給定條件下，經(jīng)充分抽氣后，抽氣量為零時所能達到的穩(wěn)定的低壓力。

2.抽氣速率，對于給定氣體，在一定溫度壓力下，單位時間內(nèi)從泵吸氣口平面處抽出的氣體容積

3.抽氣量，對于給定氣體，在一定溫度下，單位時間內(nèi)從泵吸入口平面處抽出的氣體量。

4.大反壓力，需要前級真空的真空泵，在的負荷下運轉(zhuǎn)時，其反壓力升高到某一定值時，則泵失去正常的抽氣能力，該反壓力稱大反壓力。

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